Междисциплинарный ресурсный центр коллективного пользования
"Современные физико-химические методы формирования и исследования материалов для нужд промышленности, науки и образования"

| Оборудование | Работы | Сотрудники | Публикации |

Центр базируется на факультетах:

Физики

Географии

Химии


РГПУ им. А.И.Герцена

Сканирующие зондовые микроскопы Solver P-47 Pro и Smena фирмы NT-MDT

Назначение: cканирующий зондовый микроскоп позволяет  проводить исследования структуры и локальных свойств поверхности твердых тел с высоким разрешением на воздухе, в жидкостях и контролируемой газовой атмосфере, при температуре до 150 ºС .

 

 

 

Основные характеристики оборудования:

  • Способ сканирования: Образцом, зондом, образцом и зондом.
  • Сканеры: 1х1х1 мкм (±10%), 10х10х2 мкм (±10%), 50х50х2,5 мкм (±10%), при одновременном сканировании зондом и образцом рабочая область увеличивается до: 100х100х5 мкм.
  • СЗМ головки: АФМ, СТМ
  • Минимальный шаг сканирования 0.0004 нм; 0.0011 нм; 0.006 нм  

Методы исследования:

  • Исследование микрорельефа поверхности полуконтактными и контактными способами.
  • Метод латеральных сил (Выявление локальных областей с различными коэффициентами трения).
  • Отображение сопротивления растекания.
  • Метод модуляции силы (Изучение локальной жесткости образца).
  • Силовая микроскопия пъезоотклика.
  • Метод отображение фазы.
  • Исследования микрорельефa поверхности туннельной микроскопией.
  • Туннельная спектросктроскопия.
  • Отображение работы выхода.
  • Магнитная силовая микроскопия.
  • Электростатическая силовая микроскопия.
  • Метод зонда Кельвина (Изучение распределения поверхностного потенциала по образцу).
  • Сканирующая емкостная микроскопия.
  • Контактная силовая литография.
  • Электрическая литография.

Области применения:

Для комплексного исследования различных материалов с высоким разрешением на воздухе и в контролируемых газовых средах. Прибор может применяться в электронной промышленности для контроля нанолитогрфических (токовых, электрополевых, механических, химических и др.) операций, для контроля качества поверхности полупроводниковых и других пластин диаметром до 100 мм и толщиной до 20 мм. В химической промышленности, материаловедении и в биотехнологии прибор может применяться для контроля технологических процессов получения различных покрытий, пленок, полимерных и структурированных материалов и т.д.

 

Требования к образцам:

Для СЗМ исследований подходят твердые образцы с шероховатостью поверхности не более 2 мкм.

Сертификат о метрологическом обеспечении:

Solver P47-Pro сертификат

Год выпуска: 2002 (smena) и 2007 (solver)