Междисциплинарный ресурсный центр коллективного пользования
"Современные физико-химические методы формирования и исследования материалов для нужд промышленности, науки и образования"

| Работы | Оборудование | Сотрудники | Публикации |

Центр базируется на факультетах:

Физики

Географии

Химии


РГПУ им. А.И.Герцена

Спектральный эллипсометр «ЭЛЬФ»

Спектральный эллипсометр «ЭЛЬФ»

Назначение оборудования Измерение толщин пленок и толщин слоев в тонкопленочных структурах (металлы, полупроводники и диэлектрики, как твердые, так и жидкие пленки).

Измерение оптических констант образцов (металлы, полупроводники и диэлектрики, как твердые, так и жидкие среды). 

Исследование структуры материалов (состав, неравномерность пространственного распределения, пористость, степень кристалличности и др.).

Характеризация поверхности (наличие поверхностных слоев, нанометрическая шероховатость поверхности и др.).

Назначение оборудования Измерение толщин пленок и толщин слоев в тонкопленочных структурах (металлы, полупроводники и диэлектрики, как твердые, так и жидкие пленки).

Измерение оптических констант образцов (металлы, полупроводники и диэлектрики, как твердые, так и жидкие среды). 

Исследование структуры материалов (состав, неравномерность пространственного распределения, пористость, степень кристалличности и др.).

Характеризация поверхности (наличие поверхностных слоев, нанометрическая шероховатость поверхности и др.).

 

Технические характеристики

  Спектральный диапазон длин волн: 270 –1000 нм

Спектральное разрешение 3 - 4 нм 

Типичное время измерения полного спектра 20 секунд. 

Воспроизводимость и стабильность при измерении:

эллипсометрических параметров Ψ и Δ в большей части  спектрального диапазона длин волн около 0.010,

толщины –0.1 нм* 

показателя преломления –   0.001 *.

Диапазон устанавливаемых углов падения:  450 – 900 с интервалом 2.50

Диапазон измеряемых толщин: 0.1 нм – 5 мкм* 

Диаметр светового луча: 3 мм  (200 мкм с микроприставкой) 

Типичное время измерения на одной длине волны: 0.3-2 сек.

Дискретность измерений – до 400 точек на спектр.

  *  Цифры приведены для тестовой системы SiO2/Si

Характеристики, исходя из которых, данное оборудование является уникальным: спектральный эллипсометр Эльф – первый в мире широкодиапазонный спектроэллипсометр с источником света на светодиодах. Прибор обеспечивает два  режима работы: эллипсометрия и спектральная фотометрия, не содержит движущихся поляризационных элементов, что увеличивает чувствительность и уменьшает время измерения. Особенности конструкции позволяют снизить влияние фоновых засветок при работе со слабыми сигналами. Используемый метод измерений с бинарной модуляцией состояния поляризации повышает чувствительность прибора и снижает влияние шумов.

Год выпуска: 2015